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多晶合成爐

多晶合成爐主要用于GaAs、CdTe等多種化合物材料的多晶合成工藝。

 

多晶合成爐設備特點
十年爐體生產工藝經驗,壽命長、溫場穩定。
高低溫爐體獨立可控,保證了合成過程中的安全穩定。
頂部水冷系統及精準的工藝流程控制,提升工藝保障力。


技術參數

 

電源電壓 380V
控溫精度 ±0.2℃
功率 35kw
爐膛尺寸 120mm
高溫爐體長度 900mm
低溫爐體長度 750mm
高溫爐體長期工作溫度 1250℃
低溫爐體長期工作溫度 1250℃
冷卻方式 水冷
爐體結構 臥式多溫區管狀
加熱溫區段數 8段(高溫5段,低溫3段)
顯示及監控段數 8段 (可定制)
控制方式 微控
升溫超調 優于0.3℃
生長過程慢速降溫超調 優于0.3℃
多晶合成爐
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