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GASS立式甩干機

       GASS立式甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備, 具有高潔凈沖洗,高速甩干,快速烘干,效率高的特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換轉子來實現。是濕法清洗工藝的主要設備,設備本身有單腔室和雙腔室2種結構,體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。

GASS立式甩干機設備特點
· 可以快速拆卸更換轉子;
· 采用直驅式高性能無刷電機;
· 設備正常穩定工作時間≥95%,碎片率低于千分之一;
· 顆粒度增加值 <10 (0.3 micron),甩干后表面無水漬、無污染物;
· 整機采用進口PFA/PVDF/PTFE管件/噴嘴;
· 氣動控制部件采用進口SMC壓力開關/電磁閥;
· 電源主空氣開關帶漏電保護;
· 當設備出現異常時,按急停按鈕可停機;
· 動力條件監測及報警;
· 加熱系統超溫保護;
· 門禁/擺正監測報警。

 

技術參數

設備結構 單腔室
自動化程度 全自動
清洗對象 2-8寸晶片
清洗能力 單腔室2-8寸/1籃,25片/藍          雙腔室2-8寸/2籃,25片/藍
配套花籃 對應轉子同尺寸Entegris(25pcs)花籃(可訂制)
配套轉子 對應標準尺寸Entegris(25pcs)花籃(可訂制)
馬達額定轉速 300-2800轉/min,馬達最高轉速:3000轉/min
電氣控制方式 人機界面+ PLC可編程控制器(最多可存儲10套程序,每套程序8個步驟)可顯示并記錄最近10條報警內容
設備外形尺寸 PS-1600:單腔室-長X寬X高(單位mm)= 720X450X1510        雙腔室-長X寬X高(單位mm)= 820X450X1810
PS-1800:單腔室-長X寬X高(單位mm)= 760X520X1630        雙腔室-長X寬X高(單位mm)= 860X520X1830

 

 

修面速度 0-250mm/min
外形尺寸 1050mm x 1600mm x 1700mm
設備重量 1800kg
GASS立式甩干機
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