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機械手

 

設備簡介

機械手做為晶片搬運和鍍膜工藝過程轉換中的執行元件,在半導體行業中廣泛應用。該產品采用先進的結構,提高了手臂的剛性,并有效抑制振動,輕量化設計滿足高速要求。具有多重安全保護功能。肘部和腕部靈活控制,更節省空間,適應性更強。是半導體行業不可缺少關鍵部件之一。

技術參數

結構形式 柱坐標型/SCARA型 
負載 名稱 晶圓
直徑 Φ200mm/Φ300mm
重量 ≤0.5kg
自由度數 3
最大回轉直徑 520mm
運動范圍 升降軸 (Z軸) 50mm
回轉軸 (T軸)  360°
伸展軸 (R軸)  R750mm
最大速度 升降軸 (Z軸) 300mm/s
回轉軸 (T軸)  360°
伸展軸 (R軸)  800mm/s
重復定位精度 升降軸 (Z軸) ±0.1 mm(3σ)
回轉軸 (T軸)  ±0.01°(3σ)
伸展軸 (R軸)  ±0.1 mm(3σ)

 

機械手
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